QMG青岛广电6月27日讯 青岛思锐智能半导体先进装备研发制造中心项目今天在青岛自贸片区落成投产。项目由思锐智能与青岛城投集团联合打造，总占地面积约95亩，重点开展原子层沉积镀膜（ALD）和离子注入机（IMP）两大核心半导体前道设备的研发与量产。项目的投产，填补了青岛在半导体核心装备领域的空白，增强了青岛自贸片区在半导体高端装备领域的竞争力。  

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